Razvojno raziskovalni projekt Novi materiali in tehnologije za napredne senzorske sisteme, ki ga Center odličnosti NAMASTE izvaja skupaj s Fakulteto za elektrotehniko na Univerzi v Ljubljani, odlikujejo mnogi dosežki.

Rezultati in področja uporabe:

THz-senzor
THz-sistem, ki je bil zasnovan v laboratoriju za mikroelektroniko (LMFE), zajame THz sliko s površino približno 0,1 m × 0,1 m z ločljivostjo 32 × 32 slikovnih točk. Deluje na centralni frekvenci 300 GHz in za zajem uporablja metodo FM modulacije ter heterodinskega mešalnika. THz žarki z lahkoto prodirajo skozi večino oblačil, plastike, papirja, kartona, zato slike, zajete s sistemom, izdelanim v LMFE, podajo osnovno predstavo položaja in obliko predmetov, ki so bodisi v embalaži ali kako drugače zakriti za vidno svetlobo. Teraherčni senzorji so uporabni na veliko področjih, predvsem pa kot polja senzorjev za zajem slike v medicini (zaznavanje sprememb tkiv in drugih anomalij), prehrambni industriji (zaznavanje tujkov v produktih ter kontrola kvalitete), farmaciji (pregled debeline prevleke tablet, pregled razporeditve zdravilne učinkovine), avtomobilski industriji (merjenje debeline premazov, detekcija poškodb na površinah), papirni industriji (debelina papirja/kartona, gostota, gramatura, homogenost) itd.

Umetni nos
Realiziran senzorski sistem je izjemno občutljiv (občutljivost 0,3 aF – je med najobčutljivejšimi na svetu) in uporablja nizkošumno CMOS elektronsko vezje. Sistem je robusten, neobčutljiv za mehanske in temperaturne vplive iz okolja in ima velik potencial. Uporabo umetnega nosu predvidevamo v širokem naboru področij: od medicine, varnosti, vojaških apliakcij, kontrole okolja, prehranske proizvodnje, znanosti itd.

3D obdelava silicija za napredne mikrosisteme
V okviru CO NAMASTE nabavljenega sistema DRIE Plasmalab 100-ICP180 je bil postavljen dvostopenjski Boschev postopek usmerjenega jedkanja, ki je bil nadgrajen s tristopenjskim in drugimi modificiranimi postopki suhega jedkanja. S kombinacijo kratkih izmenjajočih se izotropnih in anizotropnih (usmerjenih) Boschevih jedkanj v istem sistemu je bil razvit postopek jedkanja, katerega rezultat so stene jedkanih mikrostruktur z ošiljenim profilom. Področje uporabe DRIE je široko in ključno za realizacijo naprednih senzorjev, aktuatorjev in mikrosistemov (pospeškometri, giroskopi, odjemniki energije idr.). Za potrebe doziranja in analize fluidnih substanc v biomedicini so bile izdelane silicijeve mikroigle za podkožno vnašanje zdravil, mikrofluidni elementi z integriranimi Au elektrodami za impedančno spektroskopijo in mikročrpalke kot osnovni elementi mikrofluidnih sistemov. Mikrofluidni elementi in mikročrpalke so zgrajeni iz stekla in PDMS-polimera.